国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院澄清:这是北京高能同步辐射光源

近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。对此,中国电子工程设计院有限公司9月18日发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。中国电子院解释称,HEPS可以看成是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型X光机,它产生的小光束可以穿透物质、深入内部进行立体扫描,从分子、原子的尺度多维度地观察微观世界,HEPS是进行科学实验的大科学装置,并不是网传的光刻机工厂。(澎湃)

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